利记官网 先进IV 方法有如下优点: 电流表低端接地 电压源和电压表浮置 支持达110 MHz 的频率测量 先进 IV

 新闻资讯     |      2021-07-23 12:02

4TP 布线技能有其范围性。跟着频率的增加,利记官网,不只卡盘的残余电容,并且残余卡盘电感也开始影响丈量功效。把这些影响减到最小的最好要领是把晶圆片卡盘接地,但前面已说明 4TP 要领要求浮置晶圆片卡盘。Agilent 为此专门开拓了晶圆片上高频丈量的替代夹具(布线) 办理方案,即先进IV 要领。下图说明这种要领。

图 8.35 — 先进 IV 要领答允晶圆片卡盘接地,残余电容和电感所发生流过晶圆片卡盘的泄泄电流极小。

先进IV 要领有如下利益:

电流表低端接地

电压源和电压表浮置

支持达110 MHz 的频率丈量

先进 IV 要领需要带 Agilent 42941A 阻抗探头的 Agilent 4294A 紧密阻抗阐明仪。您不能利用 E4980A LCR 表和 42941A 探头。下面是该仪器和探头的照片。

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图 8.36 — 回收 CV 丈量的先进 IV 要领要求 4294A 紧密阻抗阐明仪和 42941A 阻抗探头

所有用户都知道 4294A的很多精巧特性。个中之一是“电缆端接自动均衡电桥法”。这实质上是当频率到达 5MHz 或更高时,无论仪器是利用 1m 照旧 2m的电缆(这是晶圆片上丈量的一般环境),4294A 城市插入减小反射波形的 50Ω端接电阻。下图说明这一特性。

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图 8.37 — 当频率到达 5 MHz 或更高时,无论是利用 1 m 长的电缆照旧 2 m 长的加长电缆, 4294A 城市通过开关接入减小波形反射的 50 Ω 电阻。

除非负载校准在 5 MHz 举办,不然将调查到 5 MHz 处的电容丈量不持续性。因此在 4294A 负载赔偿时,必需确保 5 MHz 点在频率赔偿表中。

为获得满足的丈量功效,超薄栅极氧化层凡是都需要先进 IV 要领和经心的测试布局机关。下图显示利用先进 IV 要领,回收地 - 信号 - 地 (GSG) 探盘机关的通例测试布局设计。

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图 8.38 — 利用先进 IV 要领和通例测试布局 (GSG 探盘机关) 获得差异频率时的丈量功效 [数据由 SEMATECH 提供]

图中显示差异频率获得差异的丈量功效,但器件翻转区中不存在 QSCV 行为。相反,下图是利用先进IV 要领回收地- 信号- 地 (GSG) 探盘机关的测试布局,该布局遵循前面接头最小化串联电阻(Rs) 的设计导则。

图 8.39 — 利用先进 IV 要领和依据最小化串联电阻原则设计的测试布局 (GSG 探盘机关) 获得差异频率时的丈量功效[数据由SEMATECH 提供]

丈量显示出丈量频率与反转区QSCV 响应间的精采相关性,计较获得氧化层电气厚度为 2 nm! 这一功效进一步强调了正确的布局设计对超薄栅极氧化层电容丈量的极度重要性。


用 EasyEXPERT 节制 4294A

4294A 前面板界面相当巨大,它带有很多子菜单。另外,4294A 有两项成果特性有时会造成用户的操纵错误。第一个问题是与 B1500A/B1505A 和 E4980A 差异,4294A 在关机时不保存电缆赔偿信息。一种办理方案是 4294A 每次开机时都要执行开路/短路/负载赔偿,固然这大概极为繁琐和不切实际。幸运的是 4294A 配有内置闪存,可以把赔偿数据生存到文件中。并在从头开机后取回数据; 但用户必需记得这样做。4294A 的第二个问题是它的很多默认配置不适适用于半导体电容丈量。因此需要在每次仪器开机时改变所有默认配置,这一进程是容易出错的。

为辅佐办理这些问题,Keysight 提供三种节制 4294A 的 EasyEXPERT 应用测试措施。一种是指导用户完成 4294A 开路,短路和 (可选) 负载校准进程。校准进程完成后,该应用测试措施把校准数据生存在 4294A 闪存的文件中。另两个应用测试措施答允用户执行电容 - 直流电压 (CV) 扫描和电容 - 频率 (C-f)扫描。重要的是 CV 和C-f 应用测试措施都首先查抄是否生存有该应用测试措施建设的校准文件。假如这些文件不存在,该应用测试措施会宣布动静通知用户必需首先举办电缆赔偿和终止应用测试措施。虽然假如存在校准信息, CV 和 C-f 将把校准数据自动加载到仪器。另外,CV 和 C-f 应用测试措施都能把 4294A 的默认配置变到适于半导体电容丈量的量值。因此这些应用测试措施险些不行能因校准或配置问题而取无效的数据。最后,用户可通过这些应用测试措施容易地生存数据和把测试功效以 PC 基名目输出,而 4294A 前面板是做不到的。

下图是 EasyEXPERT 4294A CV 应用测试措施的截屏。

图8.40 — EasyEXPERT 应用测试措施提供利用4294A 的电容 - 直流电压扫描